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VT6000國產(chǎn)共聚焦顯微鏡基于激光共聚焦顯微技術,結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。
應用
用于機械制造、汽車、航天航空、船舶重工、軍工、風電、新能源等大型零件的測量;3C、工具原形等中小型零件的測量。涵蓋箱體、機架、齒輪,凸輪、渦輪,蝸桿、葉片的曲線、曲面的測量,可對工件的尺寸、形狀和形位公差進行精密檢測,完成過程控制,質量控制,逆向成型等任務。
產(chǎn)品特點
1)結構簡單:儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成,控制單元集成在設備主機之內(nèi),亦可采用筆記本電腦驅動,真正實現(xiàn)了“拎著走"的便攜式設計;
2)真彩圖像:配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn);
3)操作便捷:采用全電動化設計,并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格,實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果;
4)安全無憂:采用自研的電動鼻輪塔臺,并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優(yōu)化,確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。
技術指標
型號:VT6100
行程范圍:100*100*100mm
視場范圍:120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量重復性(1σ):12nm
高度測量精度:± (0.2+L/100) μm
高度測量分辨率:0.5nm
寬度測量重復性(1σ):40nm
寬度測量精度:± 2%
寬度測量分辨率:1nm
外形尺寸:520×380×600mm
儀器重量:50kg
VT6000國產(chǎn)共聚焦顯微鏡具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;還具備自動拼接功能,能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量。一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析。